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ossila紫外臭氧清洗機(jī)
英國(guó)Ossila公司提供的紫外臭氧清洗機(jī)(UVO),是一種簡(jiǎn)單,經(jīng)濟(jì),快速的材料表面清洗設(shè)備,只需把樣品放置到樣品盤上,關(guān)上艙門,設(shè)置時(shí)間,并按運(yùn)行,就可以了,能快速去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機(jī)污染物。特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí),紫外清洗非常理想。要獲得超潔凈的表面,只需要在傳統(tǒng)清洗后,再用紫外臭氧清洗幾分鐘就可獲得!
目前的主要應(yīng)用表面UV光清洗和表面UV光改質(zhì)。
v 表面UV光清洗:利用紫外光以及由其產(chǎn)生的臭氧OZONE,對(duì)有機(jī)物質(zhì)所起的光敏氧化分解作用,以達(dá)到去除粘附在物體表面上的有機(jī)化合物(碳?xì)浠衔铮?,獲得超潔凈的表面。
v 表面UV光改質(zhì):利用紫外光照射有機(jī)表面,在將有機(jī)物分解的同時(shí),254nm波長(zhǎng)的紫外光被物體表面吸收后,將表層的化學(xué)結(jié)構(gòu)切斷,光子作用產(chǎn)生原子氧會(huì)與被切斷的表層分子結(jié)合,并將之變換成具有高度親水性的官能基(如-OH,-CHO,-COOH),從而提高表面的浸潤(rùn)性。
主要應(yīng)用:
v 石英/玻璃制品的表面清洗:液晶面板,等離子電視屏幕,彩色過(guò)濾片,光罩,棱鏡,透鏡,反射鏡,平板電視等。
v 微電子產(chǎn)品的表面清洗:微型馬達(dá)軸,磁頭驅(qū)動(dòng)架,光盤,光電器件,手機(jī)攝像頭,微型喇叭/受話器震膜,半導(dǎo)體硅片,掩膜版。
v 精密集成電路的表面清洗:液晶顯示器ITO,精密電路板,軟性電路板接頭,BGA基板的清洗,COG的清洗,COF(ILB)接合面的清洗,薄膜基板的清洗,金屬基板的清洗,BGA基板與粘結(jié)墊的清洗。
v 在膠粘接或是印刷之前,對(duì)高分子聚合制品的表面改性:橡膠粘接,塑料汽車部件,透鏡保護(hù)膜,塑料薄膜,樹脂成型空氣袋,IC包裝,注射針接合部份的表面性,介入導(dǎo)管的表面改型等。
v 科研過(guò)程的表面清洗及處理:半導(dǎo)體,生物芯片,納米材料,聚合物,光化學(xué)等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
v 成本低;
v 120x120mm樣品臺(tái);
v zui大處理樣品高14mm;
v 抽屜式樣品臺(tái),簡(jiǎn)單方便;
v 樣品臺(tái)自動(dòng)安全開關(guān),打開UV自動(dòng)關(guān)閉,防止對(duì)人身傷害; UVO顯示器
v LCD屏顯示“已用時(shí)間"和“剩余時(shí)間";
v 60分鐘定時(shí)器;
v 高強(qiáng)度UV燈源;
v 可控溫的樣品臺(tái);
v 樣品清洗無(wú)需溶劑;
v 超凈表面。 UVO樣品托盤
二、技術(shù)參數(shù)
紫外燈類型 | 低壓石英水銀蒸汽燈 |
紫外線燈的主要波長(zhǎng) | 185nm和254nm |
UV燈管尺寸 | 100x100mm |
UV燈電源 | 4000V,30mA |
UV燈壽命 | 每天使用可用8-10年 |
適用電壓 | 230V,0.6A,50Hz//opt.(110V,1.2A,60Hz) |
zui大運(yùn)行時(shí)間 | 59分59秒 |
安全特點(diǎn) | 安全聯(lián)鎖,高溫報(bào)警,高溫?cái)嚯姡?/span> |
托盤尺寸 | 120x120mm |
zui大樣品尺寸 | 100x100mm |
總尺寸 | 長(zhǎng)204mm、高227mm、寬300mm |
在紫外線臭氧清洗前水滴在OTS-treated硅基質(zhì)上(300nm二氧化硅表面)(左)紫外臭氧清洗10分鐘后(右)。
ossila紫外臭氧清洗機(jī)
英國(guó)Ossila公司旋轉(zhuǎn)涂布機(jī),方便實(shí)用,結(jié)構(gòu)小巧緊湊,占地空間小,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案,采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)的旋涂盤,無(wú)需真空泵或充氮?dú)?,就能達(dá)到很好的旋涂效果,操作簡(jiǎn)單方便,旋涂均勻,可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
Ossila旋涂機(jī)內(nèi)置調(diào)整水平裝置,zui大限度的保證旋涂均勻。
產(chǎn)品特點(diǎn):
v 體積小巧:可在手套箱和通風(fēng)廚內(nèi)使用。
v 易安裝,免維護(hù):開機(jī)即用(無(wú)需真空泵、充氮?dú)?。
v 智能程序化控制:旋轉(zhuǎn)速度從120到6000 rpm可編程,可對(duì)不同樣品的旋涂(緩慢干燥結(jié)晶薄膜)。
v 旋涂質(zhì)量好:不用抽真空也不會(huì)出現(xiàn)襯底翹曲現(xiàn)象,即使旋涂0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更低時(shí),*的腔體設(shè)計(jì)同樣能達(dá)到*的旋涂效果。
v 低成本、低維修率:只有兩個(gè)運(yùn)動(dòng)部件,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和蓋子,由于不使用真空泵和充氮?dú)饩€路,節(jié)省真空泵等保養(yǎng)維護(hù)費(fèi)用。
v 耐酸堿防腐蝕:耐酸堿防腐蝕的FEP覆膜操作界面,在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運(yùn)行。
v 性能可靠:皮實(shí)耐用,實(shí)驗(yàn)室搬運(yùn)沒有損壞的風(fēng)險(xiǎn)。
v 安全:旋涂機(jī)驅(qū)動(dòng)使用24V電源適配器(包括),不使用高電壓;并且采用智能程序控制自動(dòng)聯(lián)鎖,保證運(yùn)行安全。
技術(shù)參數(shù):
v 程序:100個(gè)程序,每個(gè)程序多達(dá)100個(gè)步驟;
v 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:<2%;
v 速度:120-6000rpm;
v 定時(shí)器:1-999sec;
v 電源:DC24V,2A;
v 聯(lián)鎖:工作狀態(tài)蓋子自動(dòng)鎖止功能;
v 尺寸:210x250x120mm;
v 材質(zhì):旋涂裝置:PP;殼體:不銹鋼;蓋子:玻璃。